半导体晶圆篮清洗生产线

半导体晶圆篮清洗生产线
难点：
1，无尘等级要求百级； 
2，清洗后产品颗粒度指数极低；
3，清洗后产品表面化学元素含量要求极低
速度：1 Min/PCS

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